壓電式MEMS超聲換能器賦能心臟健康監測
近日,天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室MEMS課題組的研究人員在IEEESensorsJournal期刊上發表了題為“MEMSultrasonicfingertipheartratesensor”的論文。研究團隊提出了基于壓電式MEMS超聲換能器(PMUT)芯片的心率監測方案,詳細介紹了PMUT芯片設計、制造、表征與心率測試結果。PMUT芯片具有的小尺寸、高集成度和兼容不透光封裝材料的眾多...
日期:2022-12-11 閱讀:(395)查看詳情>>