型號：MPS-CHL/MPS-CHH/MPS-CHU

溫度范圍：RT-450℃/750℃/1000℃

樣品臺尺寸：1/2inch

探針數量：4/6/8/13個可選，9pin/24pin接線端子

測試環境：氣氛、真空、濕度、光照

         探針移動方式：手動/壓電驅動